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产品与效劳·Products and Services

海内首个完整硅光流片能力平台

海内首个完整硅光流片能力平台

面向后摩尔时代微电子与光电子的生长需求,中国科学院微电子所基于 8 英寸 CMOS 工艺线开发海内首个具有完整硅光工艺流片能力的 8 英寸硅光 平台。

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面向后摩尔时代微电子与光电子的生长需求,中国科学院微电子所基于英寸 CMOS 工艺线开发海内首个具有完整硅光工艺流片能力的 英寸硅光平台。

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IMECAS 硅光平台组成



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